한어Русский языкEnglishFrançaisIndonesianSanskrit日本語DeutschPortuguêsΕλληνικάespañolItalianoSuomalainenLatina

η εγχώρια μηχανή λιθογραφίας duv ανάλυσης 65 nm αντιπροσωπεύει την πρόοδο και την ανάπτυξη της εγχώριας τεχνολογίας λιθογραφίας, αλλά οι δυνατότητές της είναι περιορισμένες και μπορεί να υποστηρίξει μόνο τις ώριμες ανάγκες κατασκευής τσιπ διεργασίας των 55-65 nm. η τυπική εργοστασιακή ακρίβεια επικάλυψης είναι σχετικά χαμηλή και τα πραγματικά λειτουργικά σφάλματα θα αυξηθούν επίσης με τον περιορισμό του παραθύρου ελέγχου επικάλυψης για μία μόνο έκθεση.

τα τελευταία χρόνια, διεθνείς κορυφαίοι κολοσσοί τεχνολογίας λιθογραφίας όπως η asml συνέχισαν να εισάγουν νέα προϊόντα και έχουν επιτύχει σημαντικές ανακαλύψεις στη διαδικασία με προηγμένη τεχνολογία και εξοπλισμό, όπως asml nxt: 1970 και asml nxt: 1980. αυτά τα μηχανήματα παρέχουν εγγύηση για μαζική παραγωγή διαδικασίας 28 nm και οδηγούν ακόμη και στην πρόοδο της βιομηχανίας κατασκευής γκοφρετών.

οι περιορισμοί της τεχνολογίας μονής έκθεσης καθιστούν κρίσιμη την πολλαπλή έκθεση ειδικά κάτω από την ακρίβεια επικάλυψης των 5,5 nm και 2,75 nm, η τεχνολογία πολλαπλής έκθεσης μπορεί να επιτύχει χαμηλότερες απαιτήσεις ακρίβειας, ανοίγοντας έτσι μια νέα πρωτοποριακή διαδρομή.

ωστόσο, οι εγχώριοι κατασκευαστές μηχανών λιθογραφίας αντιμετωπίζουν τεράστιες προκλήσεις. η μετάβαση από τις ξηρές μηχανές λιθογραφίας duv στις μηχανές λιθογραφίας εμβάπτισης duv απαιτεί να ξεπεραστούν τεχνικές δυσκολίες. γύρω στη δεκαετία του 2010, η asml βασίστηκε στα πλεονεκτήματα των μηχανών λιθογραφίας εμβάπτισης duv για να επιτύχει μια απόλυτη ηγετική θέση στον τομέα της τεχνολογίας λιθογραφίας και ανέτρεψε πλήρως τη δομή της αγοράς λιθογραφίας εκείνη την εποχή.

ως εκ τούτου, οι εγχώριοι κατασκευαστές μηχανών λιθογραφίας πρέπει να εξερευνούν συνεχώς νέες τεχνικές διαδρομές και μονοπάτια καινοτομίας και να προσπαθούν να βελτιώσουν το επίπεδο και την ακρίβεια της τεχνολογίας λιθογραφίας προκειμένου να ξεχωρίσουν στην εξαιρετικά ανταγωνιστική αγορά κατασκευής τσιπ.