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la macchina litografica duv domestica con risoluzione a 65 nm rappresenta il progresso e lo sviluppo della tecnologia litografica domestica, ma le sue capacità sono limitate e possono supportare solo le esigenze di produzione di chip di processo maturi di 55-65 nm. la precisione di sovrapposizione standard di fabbrica è relativamente bassa e gli errori operativi effettivi aumenteranno. ciò è anche legato alla limitazione della finestra di controllo della sovrapposizione per una singola esposizione.

negli ultimi anni, i principali colossi internazionali della tecnologia litografica come asml hanno continuato a introdurre nuovi prodotti e hanno ottenuto importanti progressi nei processi con tecnologie e apparecchiature avanzate, come asml nxt: 1970 e asml nxt: 1980. queste macchine garantiscono la produzione di massa del processo a 28 nm e guidano persino il progresso dell'industria manifatturiera dei wafer.

i limiti della tecnologia di esposizione singola rendono fondamentale l’esposizione multipla, soprattutto con la precisione di sovrapposizione di 5,5 nm e 2,75 nm, la tecnologia di esposizione multipla può raggiungere requisiti di precisione inferiori, aprendo così un nuovo percorso rivoluzionario nel processo.

tuttavia, i produttori nazionali di macchine per la litografia devono affrontare sfide enormi. il passaggio dalle macchine per litografia duv a secco alle macchine per litografia duv ad immersione richiede il superamento di difficoltà tecniche. intorno agli anni 2010, asml ha fatto affidamento sui vantaggi delle macchine per litografia duv a immersione per raggiungere una posizione di leadership assoluta nel campo della tecnologia litografica e ha completamente sovvertito la struttura del mercato della litografia in quel momento.

pertanto, i produttori nazionali di macchine per litografia devono esplorare costantemente nuovi percorsi tecnici e percorsi di innovazione e sforzarsi di migliorare il livello e la precisione della tecnologia litografica per distinguersi nel mercato altamente competitivo della produzione di chip.