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la máquina de litografía duv doméstica con resolución de 65 nm representa el progreso y el desarrollo de la tecnología de litografía doméstica, pero sus capacidades son limitadas y solo pueden soportar las necesidades de fabricación de chips de proceso maduro de 55-65 nm. la precisión de superposición estándar de fábrica es relativamente baja y los errores operativos reales aumentarán. esto también está relacionado con la limitación de la ventana de control de superposición para una sola exposición.

en los últimos años, los gigantes de la tecnología de litografía líderes a nivel internacional, como asml, han introducido continuamente nuevos productos y han logrado importantes avances en los procesos con tecnología y equipos avanzados, como asml nxt: 1970 y asml nxt: 1980. estas máquinas brindan garantía para la producción en masa del proceso de 28 nm e incluso lideran el progreso de la industria de fabricación de obleas.

las limitaciones de la tecnología de exposición única hacen que la exposición múltiple sea crítica, especialmente con la precisión de superposición de 5,5 nm y 2,75 nm, la tecnología de exposición múltiple puede alcanzar requisitos de precisión más bajos, abriendo así un nuevo camino de avance en el proceso.

sin embargo, los fabricantes nacionales de máquinas de litografía se enfrentan a enormes desafíos. la transición de las máquinas de litografía duv seca a las máquinas de litografía duv por inmersión requiere superar dificultades técnicas. alrededor de la década de 2010, asml confió en las ventajas de las máquinas de litografía duv por inmersión para lograr una posición de liderazgo absoluto en el campo de la tecnología de litografía y subvirtió por completo la estructura del mercado de la litografía en ese momento.

por lo tanto, los fabricantes nacionales de máquinas de litografía deben explorar constantemente nuevas rutas técnicas y caminos de innovación, y esforzarse por mejorar el nivel y la precisión de la tecnología de litografía para destacarse en el mercado altamente competitivo de fabricación de chips.